國家智慧財產權局資訊顯示，廣東精瓷新材料有限公司申請一項名為“一種快速升溫快速冷卻的CVD加熱器及其製備方法”的專利，公開號CN121496375A，申請日期為2025年9月快速。
專利摘要顯示，本發明公開一種快速升溫快速冷卻的CVD加熱器及其製備方法，CVD加熱器安裝於CVD裝置真空腔底部進行使用，包括有金屬座、水冷盤以及陶瓷發熱盤；該水冷盤貼合固定於金屬座的下表面，該陶瓷發熱盤貼合固定於金屬座的上表面，該陶瓷發熱盤具有陶瓷絕緣層，該陶瓷絕緣層為氮化鋁陶瓷快速。透過將陶瓷發熱盤的陶瓷絕緣層採用氮化鋁陶瓷，其熱導率、抗熱震效能優異，並配合設定水冷盤，以取代傳統之採用空心陶瓷柱狀連線件來為晶圓實現快速升溫或降溫，水冷盤相較於空心柱狀連線件具有更長的使用壽命，不易損壞，可靠性強，維修簡單且成本低，可滿足快速升降溫需求，不會產生產品開裂問題，提高生產效率。
天眼查資料顯示，廣東精瓷新材料有限公司，成立於2021年，位於河源市，是一家以從事計算機、通訊和其他電子裝置製造業為主的企業快速。企業註冊資本4513.3014萬人民幣。透過天眼查大資料分析，廣東精瓷新材料有限公司共對外投資了2家企業，參與招投標專案7次，財產線索方面有商標資訊2條，專利資訊27條，此外企業還擁有行政許可9個。
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來源快速：市場資訊
